集成系统

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微电子电子化学材料系统集成，包括半导体、光刻胶、树脂生产系统集成。中央控制室可以通过连接到各种传感器和仪表，实时监测生产过程中的各个参数，如温度、压力、液位等，实现分散控制，集中管理。设备采用防爆无尘设计，耐腐耐碱耐酸，设备满足微电子化学行业对设备洁净等级以及设备表面颗粒数量的控制要求。模块化设计，维护成本低；全自动配料，运行状态实时监控。

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